Verifire XL大口径激光干涉仪
ZYGO大口径激光干涉仪是由4英寸激光干涉仪主机经过扩束伟大口径系统，通常为双通道，即4英寸测量通道和大口径测量通道，具有多种高精度测量模式，如相位调节、波长调节、动态测量等，大口径激光干涉仪可以从常规的4英寸到12英寸、18英寸、24英寸、32英寸、36英寸。
大口径激光干涉仪可以从常规的4英寸到12英寸、18英寸、24英寸、32英寸、36英寸。
价格：￥-
特点与技术参数
系统组成
激光干涉仪主机(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波长调制主机)MUX分光器（光束转换器）
扩束器（12英寸、18英寸、24英寸、32英寸、36英寸）
机械相位测量装置用于12英寸和18英寸，24英寸和32英寸及36英寸采用波长调节测量技术
参考光束：透射平板和参考平板是光学系统的必要附件
调整架：用于调整参考光束和测试光束的位置
ZYGO专利抗震技术QPSI也广泛应用在大口径系统中
技术参数
| 激光器 | 长寿命、大功率、稳频氦氖激光器 |
| 波长 | 266nm、1053nm、1064nm、1550nm、3390nm、10600nm（定制波长） |
| 频率稳定度 | ＜0.0001nm |
| 输出功率 | ＞3mW |
| 相干长度 | 大于100m |
| 口径大小 | 12英寸、18英寸、24英寸、32英寸、36英寸 |
| 测试模式 | PSI 经典移相 QPSI抗震移相 |
| 激光器寿命 | ＞60000小时 |
| 保修 | 激光器3年，整机2年 |